特許
J-GLOBAL ID：200903011648274022

研磨装置及び磁気ヘッド並びにその製造方法

発明者：
関 高輝

関 高輝 について

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千葉 拓

千葉 拓 について

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高橋 俊雄

高橋 俊雄 について

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田中 秀明

田中 秀明 について

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田村 利夫

田村 利夫 について

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山坂 稔

山坂 稔 について

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高倉 昭雄

高倉 昭雄 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-234358
公開番号（公開出願番号）：特開2002-331452
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2002年11月19日
要約：
【要約】【課題】複数の磁気ヘッドスライダが連なったローバーの状態で、磁気ヘッドの浮上面を加工段差が小さく、スクラッチの発生を抑制し、かつ高精度に研磨可能な研磨装置及び研磨方法を提供する。【解決手段】上記の課題を解決するために、ワークの被研磨面と研磨定盤の研磨面とのなす角度が略一定に保持されるように、スライドガイド上にワーク保持装置を装着したL型スライド板が角度調節装置に堅持され、かつスライダーテーブル上に角度調節装置を装着した往復運動駆動装置がブリッジ上に堅持されており、このブリッジが研磨定盤をまたぐ形で配置した。
請求項（抜粋）：
ワークを研磨定盤上で研磨する研磨装置であって、前記研磨定盤をまたぐ形で設置されたブリッジと、スライダーテーブルを有する往復運動駆動装置と、ワークを保持するためのワーク保持装置と、前記ワークの被研磨面と前記研磨定盤の研磨面との相対方位を調節する角度調節装置と、前記往復運動駆動装置の運動方向に対してほぼ直交する方向に可動するロック機構付きスライドガイドを有するL型スライド板とを備え、前記ワークの被研磨面と前記研磨定盤の研磨面とのなす角度が略一定に保持されるように、前記スライドガイド上に前記ワーク保持装置を装着したL型スライド板が前記角度調節装置に堅持され、かつ前記スライダーテーブル上に前記角度調節装置を装着した前記往復運動駆動装置が前記ブリッジ上に堅持されてなることを特徴とする研磨装置。
IPC (7件)：
B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  B24B 41/06 ,  G11B 5/187 ,  G11B 5/31 ,  G11B 5/39 ,  B24B 19/26
FI (9件)：
B24B 37/04 E ,  B24B 37/04 G ,  B24B 37/00 A ,  B24B 41/06 L ,  G11B 5/187 Q ,  G11B 5/187 W ,  G11B 5/31 M ,  G11B 5/39 ,  B24B 19/26 A
Fターム (42件)：
3C034AA19 ,  3C034BB71 ,  3C034BB76 ,  3C034CB08 ,  3C034CB12 ,  3C034DD10 ,  3C049AA07 ,  3C049AB01 ,  3C049AB04 ,  3C049AB06 ,  3C049AB08 ,  3C049BA07 ,  3C049BC01 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03 ,  3C058AA07 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058BA07 ,  3C058BC01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA16 ,  5D033BB14 ,  5D033BB43 ,  5D033DA11 ,  5D033DA31 ,  5D034BA02 ,  5D034BB08 ,  5D034CA06 ,  5D034DA01 ,  5D034DA07 ,  5D111AA19 ,  5D111EE02 ,  5D111GG12 ,  5D111HH08 ,  5D111HH16 ,  5D111JJ23 ,  5D111KK09
引用特許：
出願人引用 (15件)
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審査官引用 (15件)
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