特許
J-GLOBAL ID：201403095729987464
有機電界発光素子の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-242804
公開番号（公開出願番号）：特開2014-044963
出願日： 2013年11月25日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
要約：
【課題】有機電界発光素子の有機層を湿式成膜法により形成するに当たり、グローブボックス等の装置を用いて窒素置換を行うなどの特別な環境制御を必要とすることなく成膜中の劣化を防止して、安価な製造コストで、高効率で駆動寿命が長い有機電界発光素子を提供する。【解決手段】有機電界発光素子の陽極と陰極との間の有機層を、有機電界発光素子材料及び溶剤を含有する組成物を用いて、以下の成膜環境1〜3のいずれかの環境下に湿式成膜法で成膜した後乾燥する。 成膜環境1:二酸化炭素濃度0.7g/m3以下で酸素濃度18〜22体積% 成膜環境2:硫黄酸化物濃度2.2μg/m3以下で酸素濃度18〜22体積% 成膜環境3:窒素酸化物濃度3.1μg/m3以下で酸素濃度18〜22体積%【選択図】図1
請求項（抜粋）：
陽極と陰極との間に有機層を有する有機電界発光素子の製造装置において、
該有機層に含まれる少なくとも一層を、有機電界発光素子材料及び溶剤を含有する有機電界発光素子用組成物を用いて、湿式成膜法で膜形成する成膜手段と、成膜された膜を乾燥する乾燥手段とを含む装置であって、
該成膜手段の雰囲気中の二酸化炭素濃度、硫黄酸化物濃度及び窒素酸化物濃度のいずれか1以上を低減する空気浄化手段を有することを特徴とする有機電界発光素子の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107BB02
, 3K107BB03
, 3K107BB04
, 3K107BB06
, 3K107CC04
, 3K107CC21
, 3K107CC45
, 3K107DD59
, 3K107DD70
, 3K107DD71
, 3K107DD79
, 3K107DD87
, 3K107FF14
, 3K107FF17
, 3K107GG06
, 3K107GG26
, 3K107GG28
, 3K107GG35
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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