特許
J-GLOBAL ID：201503003894840970
ウェハ加工用シート
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人SSINPAT
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-148368
公開番号（公開出願番号）：特開2013-236098
特許番号：特許第5666659号
出願日： 2013年07月17日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基材上に接着剤層が剥離可能に積層されており、ダイシング加工およびダイボンディング加工の機能を発揮するダイシングシートと、リング状両面粘着シートとからなるウェハ加工用シートであって、
前記基材の面上における中央部に接着部を有しており、その周囲に非接着部を有しており、
前記接着部を有している基材の同一面上における外縁部にリング状両面粘着シートが積層されていることを特徴とするウェハ加工用シート。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/78 M
, H01L 21/78 Q
, H01L 21/304 631
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
