特許
J-GLOBAL ID：201503031137875972
エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
勝沼 宏仁
, 永井 浩之
, 森 秀行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-225467
公開番号（公開出願番号）：特開2015-088603
出願日： 2013年10月30日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：
【課題】エッチング液の量を少なく抑える。【解決手段】エッチング方法は、エッチング処理部内にエッチング液を充てんする初期準備工程と、被処理体にエッチングを施すエッチング工程とを備えている。初期準備工程は、高Si濃度の新規エッチング液を用いた液供給工程を含み、エッチング工程は低Si濃度の新規エッチング液を用いた部分液交換工程を含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
エッチング処理部内にエッチング液を充てんする初期準備工程と、
前記エッチング処理部内に収納された被処理体に対してエッチング液を用いてエッチング処理を施すエッチング工程とを備え、
前記初期準備工程は、第1Si濃度の新規エッチング液を用いて行なわれる液供給工程を含み、
前記エッチング工程は、第2Si濃度の新規エッチング液を用いて行なわれる前記エッチング処理部内のエッチング液を部分的に交換する部分液交換工程を含むことを特徴とするエッチング方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/306 J
, H01L21/306 E
5F043AA35
, 5F043BB23
, 5F043DD07
, 5F043EE21
, 5F043EE23
, 5F043EE27
, 5F043EE33
