特許
J-GLOBAL ID:201503041708379701 レーザを用いたドーピング方法
発明者:
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出願人/特許権者: 代理人 (2件):
古谷 栄男
, 松下 正
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-136541
公開番号(公開出願番号):特開2015-010017
出願日: 2013年06月28日
公開日(公表日): 2015年01月19日
要約:
【課題】レーザー光を用いてガラスなどの基体内にドープ材料をドープする方法を提供する。【解決手段】ガラスなどの基体2を準備する。続いて、この基体2の表面4上に、ドーピングしたいドープ材料6を置く。次に、この状態にて、炭酸ガスレーザーを、基板2の表面4とドープ材料6の境界面近傍に照射する。この時、炭酸ガスレーザ光8を走査して、ドーピングを行いたい範囲に炭酸ガスレーザー光8を照射する。炭酸ガスレーザーの照射によって基体2が溶融し、ドープ材料6が混入する。照射後には、基体2が冷却され、混入されたドープ材料6を含んだまま基体2が凝固し、ドーピングが行われる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基体上にドープ材料を載置するステップと、
ドープ材料を載置した基体に対し、レーザーを照射し、基体内にドープ材料をドーピングするステップと、
を備えたドーピング方法。
IPC (5件):
C03C 21/00
, C03C 23/00
, B23K 26/352
, B23K 26/00
, B23K 26/082
FI (5件):
C03C21/00 Z
, C03C23/00 D
, B23K26/00 E
, B23K26/00 G
, B23K26/08 B
Fターム (23件):
4E068AH01
, 4E068CA02
, 4E068CA04
, 4E068CA15
, 4E068CE02
, 4E068DB01
, 4E068DB02
, 4E068DB06
, 4E068DB13
, 4G059AA01
, 4G059AA08
, 4G059AB01
, 4G059AB09
, 4G059AB11
, 4G059AC05
, 4G059AC06
, 4G059AC07
, 4G059AC08
, 4G059AC15
, 4G059DA00
, 4G059DA04
, 4G059DA05
, 4G059DB08
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