特許

J-GLOBAL ID：201503069261266388

レーザ加工装置および製造方法

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発明者： 玉木 隆幸 ,  小野 俊介 ,  中村 圭吾 ,  中角 真也
出願人/特許権者： 独立行政法人国立高等専門学校機構
代理人 (2件)： 古谷 栄男 ,  松下 正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-154687
公開番号（公開出願番号）：特開2015-024419
出願日： 2013年07月25日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
要約：

【課題】 フェムト秒レーザのみでは加工できない、あるいは加工が不十分であるような場合でも、適切な加工を行うことが可能な装置を提供する。 【解決手段】 フェムト秒レーザに重ねて、炭酸ガスレーザを照射する。炭酸ガスレーザの照射により、フェムト秒レーザによる分子結合の切断が生じやすくなる。したがって、フェムト秒レーザのみでは加工できなかった場合であっても、炭酸ガスレーザの併用によって加工が可能となった。また、炭酸ガスレーザ照射による熱レンズ効果によって、フェムト秒レーザの焦点位置が深くなり、炭酸ガスレーザの出力に応じて加工深さを変化させることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

超短光パルスレーザを対象物の照射領域に照射する超短光パルスレーザ照射手段と、 前記対象物の超短光パルスレーザーの照射領域に、熱効果レーザを重ねて照射する熱効果レーザ照射手段と、 を備えたレーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/40 ,  B23K 26/064 ,  C03C 23/00

FI (5件)：

B23K26/00 B ,  B23K26/00 N ,  B23K26/40 ,  B23K26/06 A ,  C03C23/00 D

Fターム (17件)：

4E068AA05 ,  4E068AB01 ,  4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068CA15 ,  4E068CB02 ,  4E068CC02 ,  4E068CD02 ,  4E068CD08 ,  4E068CD10 ,  4E068CE05 ,  4E068DB13 ,  4G059AA01 ,  4G059AA08 ,  4G059AB05 ,  4G059AB17 ,  4G059AC09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レーザ加工方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-027806   出願人：セイコーエプソン株式会社
• レーザー計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-050968   出願人：旭化成株式会社
• キャピラリー光熱変換分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-181587   出願人：旭化成工業株式会社