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J-GLOBAL ID：201602263924596007   整理番号：16A0486731

真空度測定のコツ

Tips for vacuum measurement

著者 (1件)： 市村正也 (名古屋工大)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 85  号： 6  ページ： 508-511  発行年： 2016年06月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 真空度測定とは,気体の圧力を測定することです。測定の原理として機械的現象,輸送現象(熱伝導),気体のイオン化(電気伝導)の3つがあることを説明し,それぞれの原理に基づく代表的な真空計を紹介します。(著者抄録)

シソーラス用語： *真空度 ,  *真空計 ,  電離真空計 ,  圧力計 ,  隔膜真空計 ,  Bourdon管圧力計
準シソーラス用語： U字管真空計 ,  熱陰極電離真空計 ,  熱伝導真空計

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (3件)：

• 市村正也:応用物理 85, 49 (2016).
• 真空技術基礎講習会運営委員会:わかりやすい真空技術 第3版 (日刊工業新聞社, 2010).
• 市村正也 : J. Vac. Soc. Jpn. 58, 273 (2015).

タイトルに関連する用語 (1件)： 真空度