特許
J-GLOBAL ID：201603000429260834

塩及びレジスト組成物

発明者：
市川 幸司

市川 幸司 について

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安立 由香子

安立 由香子 について

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藤田 真吾

藤田 真吾 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-158390
公開番号（公開出願番号）：特開2013-047211
特許番号：特許第6011096号
出願日： 2012年07月17日
公開日（公表日）： 2013年03月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 以下の式(I)で表される塩。 [式(I)中、 R1は、置換基を有してもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基を表す。 R2は、式(R-1)、式(R-3)、式(R-5)、式(R-6)、式(R-7)又は式(R-8)で表されるラクトン環基を表し、ラクトン環基に含まれる水素原子は、群P1から選ばれる置換基を有していてもよい。 R3は、水素原子又はヒドロキシ基を表す。 X1及びX2は、それぞれ独立に、式(a-g1) (式(a-g1)中、 sは0〜2の整数を表す。 *1は、硫黄原子との結合手を表し、*2は、R2又はR3との結合手を表す。 A10は、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表す。 A11は、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基又は単結合を表す。 sが2のとき、複数存在するA10は、互いに同一であっても異なっていてもよい。 X10は、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。 sが2のとき、複数存在するX10は、互いに同一であっても異なっていてもよい。)で表される基を表す。 m1は1又は2を表し、m2は0又は1を表す。但し、m1+m2=2の関係を満たす。 m1が2のとき、複数存在するX1は互いに同一であっても異なっていてもよく、複数存在するR2は互いに同一であっても異なっていてもよい。 A-は、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオンからなる群から選ばれる有機アニオンを表す。] 群P1:ハロゲン原子;ヒドロキシ基;オキシ基;シアノ基;ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数1〜12のアルキル基;炭素数1〜12のアルコキシ基;炭素数6〜12のアリール基;炭素数7〜12のアラルキル基;グリシドキシ基;炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基;及び炭素数2〜4のアシル基
IPC (7件)：
C07D 307/93 ( 200 6.01) ,  C07D 493/18 ( 200 6.01) ,  C07D 519/00 ( 200 6.01) ,  C07C 309/17 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (7件)：
C07D 307/93 CSP ,  C07D 493/18 ,  C07D 519/00 ,  C07C 309/17 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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