特許
J-GLOBAL ID：201603001105536310

露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに露光装置

発明者：
青木 保夫

青木 保夫 について

, 
原 篤史

原 篤史 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-174507
公開番号（公開出願番号）：特開2014-036023
特許番号：特許第6035670号
出願日： 2012年08月07日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定のパターンが設けられた第1領域と前記第1領域以外の第2領域とが第1面に設けられたパターン保持体の前記第1面とは反対の面である第2面を、該パターン保持体を非接触で支持可能な支持部材の支持面に対して対向させることと、 前記第1面における前記第1領域の位置に対応する前記第2面の領域の少なくとも一部の領域を、前記支持面に対向させ非接触で支持させることと、 前記支持部材に支持された前記パターン保持体の前記第2領域を保持部材に保持させることと、 前記保持部材に保持された状態で、エネルギビームに対して少なくとも所定の2次元平面内の走査方向に前記パターン保持体を移動させるとともに、露光対象物体を前記エネルギビームに対して前記走査方向に駆動して前記パターンを前記露光対象物体に転写することと、 前記支持部材による前記パターン保持体の支持が維持された状態で、前記保持部材による前記パターン保持体の保持を解除させることと、 前記保持部材による保持が解除された前記パターン保持体の前記第2面と前記支持部材の前記支持面とを離間させることと、を含む露光方法。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G03F 7/20 502 ,  H01L 21/68 A
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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