特許
J-GLOBAL ID：201603001265187746

プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法

発明者：
置田 尚吾

置田 尚吾 について

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針貝 篤史

針貝 篤史 について

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松原 功幸

松原 功幸 について


出願人/特許権者：
パナソニックIPマネジメント株式会社

パナソニックIPマネジメント株式会社 について


代理人 (2件)： 河崎 眞一 ,  津村 祐子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-073782
公開番号（公開出願番号）：特開2016-195155
出願日： 2015年03月31日
公開日（公表日）： 2016年11月17日
要約：
【課題】搬送キャリアに保持された基板をプラズマ処理する際に、製品の歩留まりを向上させる。【解決手段】搬送キャリアに保持された基板にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、搬送キャリアは、保持シートと保持シートの外周部に配置されるフレームとを備え、基板は、保持シートに保持されており、プラズマ処理装置は、反応室と、反応室の内部に配置され、搬送キャリアを搭載するためのステージと、ステージ内部に設けられた電極部を備える静電吸着機構と、搬送キャリアをステージ上の搭載位置とステージから上方に離れた受け渡し位置との間で支持する支持部と、支持部をステージに対して昇降させる昇降機構と、を具備し、支持部を降下させて、搬送キャリアをステージに搭載する場合、支持部は、フレームが、ステージに対して傾斜した状態でステージに接触するように、搬送キャリアを支持する、プラズマ処理装置。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
搬送キャリアに保持された基板にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、 前記搬送キャリアは、保持シートと前記保持シートの外周部に配置されるフレームとを備え、 前記基板は、前記保持シートに保持されており、 前記プラズマ処理装置は、 反応室と、 前記反応室の内部に配置され、前記搬送キャリアを搭載するためのステージと、 前記ステージ内部に設けられた電極部を備える静電吸着機構と、 前記搬送キャリアを前記ステージ上の搭載位置と前記ステージから上方に離れた受け渡し位置との間で支持する支持部と、 前記支持部を前記ステージに対して昇降させる昇降機構と、を具備し、 前記支持部を降下させて、前記搬送キャリアを前記ステージに搭載する場合、 前記支持部は、前記フレームが、前記ステージに対して傾斜した状態で前記ステージに接触するように、前記搬送キャリアを支持する、プラズマ処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/301 ,  H05H 1/46 ,  H02N 13/00
FI (8件)：
H01L21/68 R ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/302 101C ,  H01L21/78 S ,  H01L21/78 N ,  H05H1/46 L ,  H05H1/46 M ,  H02N13/00 D
Fターム (75件)：
2G084AA02 ,  2G084AA03 ,  2G084BB01 ,  2G084BB06 ,  2G084BB07 ,  2G084BB12 ,  2G084CC12 ,  2G084CC13 ,  2G084CC33 ,  2G084DD02 ,  2G084DD03 ,  2G084DD13 ,  2G084DD38 ,  2G084FF07 ,  2G084FF39 ,  2G084HH06 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB13 ,  5F004BB22 ,  5F004BB29 ,  5F004BD01 ,  5F004CA05 ,  5F004DA18 ,  5F004DA26 ,  5F004DB01 ,  5F004DB20 ,  5F004EB08 ,  5F004FA05 ,  5F063AA21 ,  5F063BA43 ,  5F063BA45 ,  5F063CA08 ,  5F063DD37 ,  5F063DD43 ,  5F063DD46 ,  5F063DF17 ,  5F063EE08 ,  5F063EE22 ,  5F063EE25 ,  5F063EE43 ,  5F063EE44 ,  5F063FF04 ,  5F063FF05 ,  5F131AA02 ,  5F131AA12 ,  5F131AA15 ,  5F131AA21 ,  5F131AA22 ,  5F131AA23 ,  5F131BA19 ,  5F131CA02 ,  5F131CA06 ,  5F131CA07 ,  5F131CA09 ,  5F131CA23 ,  5F131DA13 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DA55 ,  5F131DA62 ,  5F131EA03 ,  5F131EB11 ,  5F131EB12 ,  5F131EB16 ,  5F131EB17 ,  5F131EB72 ,  5F131EB78 ,  5F131EB82 ,  5F131EC32 ,  5F131EC34 ,  5F131EC52 ,  5F131EC53 ,  5F131EC54 ,  5F131EC62
引用特許：
審査官引用 (7件)
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