特許
J-GLOBAL ID：201603001385217436
電気-機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 千惠子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056033
公開番号（公開出願番号）：特開2013-191681
特許番号：特許第5998543号
出願日： 2012年03月13日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板または下地膜上に形成された密着層と、
この密着層上に形成された金属から成る第1の電極と、
この第1の電極上に形成されたルテニウム酸ストロンチウムから成る第2の電極と、
この第2の電極上に形成された電気-機械変換膜と、
この電気-機械変換膜上に形成された金属酸化物から成る第3の電極と、
この第3の電極上に形成された金属から成る第4の電極とを有し、第3の電極と第4の電極とは個別電極である電気-機械変換素子であって、
前記密着層が酸化チタン結晶膜であり、
前記第2の電極膜厚が40nm〜150nmであり、
前記第2の電極中にはチタンが含まれており、
前記第2の電極中における下記式(1)で示されるチタンイオン強度比が0.01以下であることを特徴とする電気-機械変換素子。
チタンイオン強度比=[Mem]/[Mm] ・・・(1)
[Mem]:第2の電極の膜厚方向の1/2に位置する領域でのチタンイオン強度
[Mm]:密着層の金属膜厚方向の1/2に位置する領域でのチタンイオン強度
(イオン強度は、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)による2次イオン強度)
IPC (4件)：
H01L 41/047 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/187 ( 200 6.01)
, H01L 41/29 ( 201 3.01)
H01L 41/047
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/29
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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