特許
J-GLOBAL ID：200903051174420954

誘電体膜の製造方法及び圧電体素子の製造方法並びに液体噴射ヘッドの製造方法、誘電体膜、圧電体素子、及び液体噴射装置

発明者：
栗城 彰

栗城 彰 について

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角 浩二

角 浩二 について

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風間 宏信

風間 宏信 について

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▲高▼部 本規

▲高▼部 本規 について

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野口 元久

野口 元久 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-056096
公開番号（公開出願番号）：特開2006-306709
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】比較的容易に結晶状態を制御し、常に安定した特性が得られる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の特性を向上することができる圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】 少なくとも鉛成分を含む誘電体膜を構成する金属を含む有機金属化合物を含有するコロイド溶液を塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、該誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記誘電体前駆体膜を焼成して誘電体膜とする焼成工程とを有し、前記乾燥工程は、前記誘電体前駆体膜を前記材料の主溶媒である溶剤の沸点よりも低い温度に加熱して一定時間保持することで乾燥させる第1の乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を140°C〜170°Cの範囲で乾燥させる第2の乾燥工程とを有し、前記脱脂工程は、脱脂の温度が350°C〜450°Cとされると共に、昇温レートが15[°C/sec]以上とされ、前記焼成工程は、昇温レートが100[°C/sec]〜150[°C/sec]とされる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
少なくとも鉛成分を含む誘電体膜を構成する金属を含む有機金属化合物を含有するコロイド溶液を塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、該誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記誘電体前駆体膜を焼成して誘電体膜とする焼成工程とを有し、 前記乾燥工程は、前記誘電体前駆体膜を前記材料の主溶媒である溶剤の沸点よりも低い温度に加熱して一定時間保持することで乾燥させる第1の乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を140°C〜170°Cの範囲で乾燥させる第2の乾燥工程とを有し、 前記脱脂工程は、脱脂の温度が350°C〜450°Cとされると共に、昇温レートが15[°C/sec]以上とされ、 前記焼成工程は、昇温レートが100[°C/sec]〜150[°C/sec]とされた ことを特徴とする誘電体膜の製造方法。
IPC (10件)：
C04B 35/49 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22 ,  H01L 21/316 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (12件)：
C04B35/49 A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101E ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  H01L21/316 G ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (26件)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP24 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA09 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08 ,  4G031GA02 ,  4G031GA06 ,  4G031GA07 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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