特許
J-GLOBAL ID：201603001748779180

形状測定装置

発明者：
中務 貴司

中務 貴司 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (2件)： 平井 正司 ,  神津 堯子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199965
公開番号（公開出願番号）：特開2014-055810
特許番号：特許第6029394号
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】対象物の形状を測定する形状測定装置であって、 前記対象物を載置するステージと、 前記対象物に向けて延びる観察中心軸を有する受光部と、 前記対象物に対して観察用の均一光を照射する観察用照明光源と、測定光を照射する測定用照射光源及び測定光から測定用のパターン光を生成するパターン生成部とを含む投光部と、 前記観察用照明光源の明るさ又は前記受光部の露光時間を調整するための明るさ調整手段と、 前記受光部と前記ステージの相対位置を調整することにより前記受光部の焦点を調整する焦点位置調整手段と、 前記観察用照明光源を点灯させ、調整後の明るさ及び焦点位置で前記受光部により取得された受光データに基づいて、前記対象物の二次元テクスチャ画像を生成する二次元テクスチャ画像生成手段と、 前記測定用照射光源を点灯させて前記受光部で取得した計測用画像を所定のアルゴリズムで処理して三次元形状データを生成する三次元形状データ生成手段と、 前記二次元テクスチャ画像を前記三次元形状データにマッピングして三次元テクスチャ画像を生成する三次元テクスチャ画像生成手段と、 前記二次元テクスチャ画像及び前記三次元テクスチャ画像を表示する表示部と、 前記対象物の形状の測定に関連した各種のパラメータの調整を手動で行うことのできる応用測定モードと、前記各種のパラメータの少なくとも一部を自動的に設定することのできる簡易測定モードのいずれかの選択を使用者から受け付ける測定モード選択手段と、 前記簡易測定モードが選択された際に、前記形状測定に関連するパラメータを自動的に設定し、前記焦点位置調整手段によって調整された焦点位置で前記投光部による照明と該投光部の照明に同期して前記受光部が前記計測用画像を取得し、該計測用画像を前記所定のアルゴリズムで処理して三次元形状データを生成する処理と、前記受光部が前記明るさ調整手段により調整された明るさで前記対象物の前記二次元テクスチャ画像を取得する処理と、前記二次元テクスチャ画像を前記三次元形状データにマッピングして前記三次元テクスチャ画像を生成する処理とを実行させ、該三次元テクスチャ画像を前記表示部に表示させる制御手段と、を備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/25 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01B 11/25 H
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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