特許
J-GLOBAL ID：201603002264119239

研削加工装置

発明者：
間瀬 文雄

間瀬 文雄 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (2件)： 林 孝吉 ,  清水 貴光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-036024
公開番号（公開出願番号）：特開2016-155204
出願日： 2015年02月26日
公開日（公表日）： 2016年09月01日
要約：
【課題】ウェハ全体の厚みを均一に研削するために、ウェハチャックの傾きを正確且つ簡便に調整可能な研削加工装置を提供する。【解決手段】研削加工装置は、制御手段と、傾斜調整手段と、座標測定手段30と、を備えている。傾斜調整手段は、ウェハチャック3を支持する固定支持部と複数の可動支持部とを備え、ウェハチャック3を任意の角度に傾ける。座標測定手段30は、固定支持部に対応した基準点P0に対するウェハW及びウェハチャック3上の複数の測定点P1、P2の座標を測定する。制御手段は、基準点P0と測定点P1、P2とを含む基準面S1の法線ベクトルと基準点P0と測定点P1’、P2’とを含む平面S2の法線ベクトルとを導出し、S1、S2の法線ベクトルの変位に応じてウェハチャック3の傾きを導出する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ウェハを研削する砥石と、前記ウェハを吸着保持するウェハチャックと、を備え、前記ウェハを研削する研削加工装置であって、 前記ウェハチャックを支持する固定支持部と複数の可動支持部とを備え、前記可動支持部を昇降させて前記ウェハチャックを任意の角度に傾ける傾斜調整手段と、 前記固定支持部に対応した基準点に対する前記ウェハ及び前記ウェハチャック上の複数の測定点の座標を測定する座標測定手段と、 前記基準点と前記測定点とを含む平面の法線ベクトルを導出し、前記法線ベクトルの変位に応じて前記ウェハチャックの傾きを導出する制御手段と、 を備えていることを特徴とする研削加工装置。
IPC (3件)：
B24B 41/06 ,  B24B 7/04 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B24B41/06 L ,  B24B7/04 A ,  H01L21/304 631
Fターム (18件)：
3C034AA08 ,  3C034BB73 ,  3C034CA04 ,  3C034CA13 ,  3C034CB08 ,  3C034CB14 ,  3C043BA03 ,  3C043CC04 ,  3C043DD02 ,  3C043DD05 ,  3C043DD06 ,  5F057AA02 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057CA11 ,  5F057DA11 ,  5F057FA11 ,  5F057FA13
引用特許：
出願人引用 (6件)
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