特許
J-GLOBAL ID：201603010050102862
真空蒸着装置および真空蒸着装置におけるるつぼ交換方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人森本国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-072638
公開番号（公開出願番号）：特開2013-204073
特許番号：特許第6021377号
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定の真空条件下で蒸着ノズルから蒸着材料を放出して基板に蒸着する真空蒸着容器と、蒸着材料を収容したるつぼおよび当該るつぼをそれぞれ加熱する蒸発用加熱装置とを有する少なくとも2つの蒸発装置と、当該各蒸発装置がそれぞれ分離可能に接続された移送管と、当該各移送管から放出された蒸着材料を合流させて蒸着ノズルに送り出す合流管と、前記移送管に設けられた連続蒸着操作部材とを具備し、
前記連続蒸着操作部材は、蒸発装置側から順に、前記移送管を締め切り可能な仕切り弁と、前記移送管に介在されて蒸着材料の流量調整可能な流量調整弁と、を有するとともに、蒸発装置と前記仕切り弁の間の前記移送管、当該移送管に接続された脱気管、前記仕切り弁および前記流量調整弁に加熱装置を有し、
前記連続蒸着操作部材を操作する連続蒸着制御器は、るつぼの交換時に、るつぼを交換する側で、前記流量調整弁の加熱を継続した状態で、前記蒸発用加熱装置をオフするとともに、前記移送管、前記脱気管および前記仕切り弁の前記加熱装置をオフし、前記仕切り弁を閉鎖して蒸発装置のるつぼを交換した後、前記脱気管に設置された脱気弁を開放し、前記脱気管から前記移送管内の空気を脱気して所定の真空条件とし、前記蒸発用加熱装置をオンして蒸発材料が蒸発しない予備加熱状態とし、前記加熱装置をオンして前記移送管、前記脱気管および前記仕切り弁の加熱を再開するように構成された
ことを特徴とする真空蒸着装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 D
, C23C 14/24 C
