特許
J-GLOBAL ID：201603014323551245
微粒子分級測定装置、粒子濃度分布が一様なサンプル作成装置、及びナノ粒子膜成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-520016
特許番号：特許第5975100号
出願日： 2013年06月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 内部を流れる試料ガスが層流となりうる平行な流路と、
前記流路の入口から試料ガスを吸入するとともに、吸入された試料ガスが前記流路内を層流となって流れる条件で駆動される送風機構と、
前記流路の入口側に配置された放電電極を含んで試料ガス中の微粒子を帯電させる帯電器と、
前記流路の対向する一対の面の一方の面上で、前記帯電器の下流に流路方向に沿って前記流路の入口から互いに異なる距離の位置に配置され、それぞれが流路方向に所定の電極幅をもち、互いに電気的に分離された複数の吸引側電極と、
前記一対の面の他方の面上で、前記吸引側電極に対向して配置され、前記吸引側電極との間に前記流路を流れる試料ガス中の帯電微粒子を前記吸引側電極側に引き付ける電界を発生させる分級電極と、
2以上の前記吸引側電極を測定電極として、それらの測定電極にそれぞれ接続されそれぞれの測定電極に到達した異なる粒径範囲の帯電微粒子がもつ電荷量を検出する測定電極ごとの検流回路と、
前記検流回路により検出された電荷量に基づいて前記測定電極に到達した帯電微粒子の分級された微粒子の量を算出する演算部と、
前記検流回路と前記演算部との間に接続され、2つの測定電極のそれぞれの検流回路の測定信号の差分を取る差分回路又は差分信号をソフトウエアで演算する機能と、
を備えた微粒子分級測定装置。
IPC (2件)：
G01N 15/02 ( 200 6.01)
, G01N 27/60 ( 200 6.01)
G01N 15/02 F
, G01N 27/60 C
