特許
J-GLOBAL ID:201603017542868865
発光ダイオード
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
日向寺 雅彦
, 小崎 純一
, 市川 浩
, 白井 達哲
, 日比野 幸信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-004131
公開番号(公開出願番号):特開2016-119483
出願日: 2016年01月13日
公開日(公表日): 2016年06月30日
要約:
【課題】加工費低減が可能となる、Vピット内のドーパント濃度が改善された発光素子構造を提供する。【解決手段】発光素子400は、n-GaN層405と、n-GaN層上に設けられ第1の濃度ピークを有するインジウムを含み、1つ以上のVピット435を有する活性層415と、活性層上に設けられた電子ブロッキング層420と、電子ブロッキング層上に設けられたp-GaN層430とを備える。p-GaN層は電子ブロッキング層上に設けられた第1のp形GaN層430aと、Vピット内に延在する第2のp形GaN層430bと、電子ブロッキング層と第1のp形GaN層との間に位置し、第2の濃度ピークを有するインジウムと、電子ブロッキング層と第1のp形GaN層との間、および、Vピットの内面と第2のp形GaN層との間にドープされたマグネシウムとを含み、第1の濃度ピークは、第2の濃度ピークの100倍以上の濃度を示す。【選択図】図4
請求項(抜粋):
n形窒化ガリウム(GaN)層と、
前記n形GaN層上に設けられ、第1の濃度ピークを有するインジウムを含む活性層であって、1つ以上のVピットを有する活性層と、
前記活性層上に設けられた電子ブロッキング層と、
前記電子ブロッキング層上に設けられたp形III-V族半導体層と、
を備え、
前記p形III-V族半導体層は、前記電子ブロッキング層の上面よりも上に設けられた第1のp形GaN層と、
前記Vピット内に延在する第2のp形GaN層と、
前記電子ブロッキング層と前記第1のp形GaN層との間に位置し、その間に第2の濃度ピークを有するインジウムと、
前記電子ブロッキング層と前記第1のp形GaN層との間、および、前記Vピットの内面と前記第2のp形GaN層との間にドープされたマグネシウムと、
を含み、
前記第1の濃度ピークは、前記第2の濃度ピークの100倍以上の濃度を示す発光ダイオード。
IPC (3件):
H01L 33/24
, H01L 33/32
, H01L 21/205
FI (3件):
H01L33/00 174
, H01L33/00 186
, H01L21/205
Fターム (19件):
5F045AA04
, 5F045AA08
, 5F045AB17
, 5F045AB22
, 5F045AC08
, 5F045AC12
, 5F045AC15
, 5F045AC19
, 5F045CA10
, 5F045DA52
, 5F045DA67
, 5F241AA03
, 5F241CA05
, 5F241CA40
, 5F241CA49
, 5F241CA57
, 5F241CA64
, 5F241CA65
, 5F241CB36
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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