特許
J-GLOBAL ID:201603018859910839
塗装材及びペリクル
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
, 西本 博之
, 阿部 寛
, 城戸 博兒
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-047043
公開番号(公開出願番号):特開2013-182205
特許番号:特許第6027319号
出願日: 2012年03月02日
公開日(公表日): 2013年09月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 開口部を覆うペリクル膜を展張支持するペリクル枠体に塗布される塗装材であって、
エポキシ系、アクリル系、フッ素系及びウレタン系の樹脂からなる群から選択される少なくとも1つの合成樹脂及び体質顔料を含み、
前記体質顔料は、前記合成樹脂100質量部に対して5質量部より多く30質量部以下含み、
前記体質顔料の形状は、偏平形状であり、
前記体質顔料の粒径は、0.1μm〜30μmであり、
塗布して乾燥した後の鉛筆硬度がF以上5H以下である、塗装材。
IPC (2件):
G03F 1/64 ( 201 2.01)
, B65D 85/86 ( 200 6.01)
FI (2件):
引用特許:
出願人引用 (7件)
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配線基板の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-019774
出願人:株式会社日立製作所
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露光用マスクおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-056129
出願人:大日本印刷株式会社
-
ペリクル
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-162977
出願人:旭硝子株式会社
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審査官引用 (7件)
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配線基板の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-019774
出願人:株式会社日立製作所
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露光用マスクおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-056129
出願人:大日本印刷株式会社
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ペリクル
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-162977
出願人:旭硝子株式会社
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