文献

J-GLOBAL ID：201702215514466483   整理番号：17A0576514

非接触ナノ形状測定装置による非球面ミラーの形状測定

著者 (5件)： 木崎嶺 (大阪大 工 超精密科学研究セ) ,  白地央樹 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  北山貴雄 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  遠藤勝義 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B16  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 自由曲面,非球面形状を測定精度1nm以上で測定可能な測定法は,次世代高精度光学素子の製造に必要不可欠である。そこで我々は,光の直進性とゴニオメータの高精度回転を利用し,試料表面の法線ベクトルを検出することで表面形状を導出する非接触ナノ形状測定装置を開発した。本稿では,非接触ナノ形状測定装置の測定範囲と測定精度の関係を明らかにするため,非球面ミラーの測定範囲を変えて形状を測定した結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *非球面鏡 ,  *形状測定 ,  *非接触測定 ,  *ナノ構造 ,  計測器 ,  *光学的測定 ,  ゴニオメータ ,  測定精度 ,  曲面 ,  形態 ,  ベクトル
準シソーラス用語： 自由曲面 ,  表面形状 ,  法線ベクトル

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (3件)：

• K. Usuki, T. Kitayama, H. Matsumura, T. Kojima, J. Uchikoshi, Y. Higashi, K. Endo, “Profile measurement of concave spherical mirror and a flat mirror using a high-speed nanoprofiler,” Nanoscale Research Letters 2013, 8:231.
• T. Kitayama, D. Tonaru, H. Matsumura, J. Uchikoshi, Y. Higashi, K. Endo, “Development of a high-speed nanoprofiler using normal vector tracing,” Key Engineering Materials, vol.516 (2012) 606-611.
• R. Kudo, K. Okuda, K Usuki, M. Nakano, K. Yamamura, K. Endo, “Three-dimensional surface figure measurement of high-accuracy spherical mirror with nanoprofiler using normal vector tracing method,” Review of Scientific Instruments 85, 045101 (2014).

タイトルに関連する用語 (5件)： 非接触 ,  形状測定装置 ,  非球面 ,  ミラー ,  形状測定