磁気センサおよびその製造方法

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：大窪克之 , 野▲崎▼ 照夫 , 松下昌弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-059279
公開番号（公開出願番号）：特開2017-173123
出願日： 2016年03月23日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：

【課題】良好なセンサ感度を有する磁気センサが本来の機能を適切に発揮しやすくなるように、構造上の改善を行われた磁気センサを提供する。【解決手段】基板15の第1面15Aの上に位置し、第1面15Aの面内方向の一つである第1方向に沿った感度軸を有する第1の磁気抵抗効果素子21と、第1の磁気抵抗効果素子21に対する第1最近位部40E1の相対位置が規定され第1の磁気抵抗効果素子21に対して非接触に設けられた位置決め用軟磁性体40bと、第1方向に沿って並置され、それぞれ第1面15Aから離れる向きに延出する第1の軟磁性体35および第2の軟磁性体36とを備え、第1の軟磁性体35および第2の軟磁性体36のそれぞれは、位置決め用軟磁性体40bに磁気的に接続されてなる磁気センサ10。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板の一面である第1面の上に位置し、前記第1面の面内方向の一つである第1方向に沿った感度軸を有する磁気抵抗効果素子と、前記磁気抵抗効果素子に対する相対位置が規定された最近位部を備え、前記磁気抵抗効果素子に対して非接触に設けられた位置決め用軟磁性体と、前記第1方向に沿って並置され、それぞれ前記第1面から離れる向きに延出する1対の軟磁性体とを備え、前記1対の軟磁性体は、前記位置決め用軟磁性体に磁気的に接続されてなることを特徴とする磁気センサ。

IPC (3件)：

G01R 33/02 , G01R 33/09 , H01L 43/08

FI (4件)：

G01R33/02 V , G01R33/02 L , G01R33/06 R , H01L43/08 Z

Fターム (19件)：

2G017AA03 , 2G017AA06 , 2G017AB09 , 2G017AC07 , 2G017AD55 , 2G017BA05 , 2G017BA09 , 5F092AA13 , 5F092AB01 , 5F092AC08 , 5F092AD08 , 5F092BB22 , 5F092BB31 , 5F092BB42 , 5F092BB53 , 5F092BC07 , 5F092BC13 , 5F092BC42 , 5F092FA08

引用特許：

出願人引用 (6件)

磁気センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-083897 出願人：アルプス電気株式会社
磁電変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-282884 出願人：株式会社日立製作所
磁電変換素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-152821 出願人：矢崎総業株式会社

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審査官引用 (6件)

磁気センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-083897 出願人：アルプス電気株式会社
磁電変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-282884 出願人：株式会社日立製作所
磁電変換素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-152821 出願人：矢崎総業株式会社

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