特許
J-GLOBAL ID：201703002892406325

エッチング液組成物及びエッチング方法

発明者：
大宮 大輔

大宮 大輔 について


出願人/特許権者：
株式会社ADEKA

株式会社ADEKA について


代理人 (4件)： 近藤 利英子 ,  菅野 重慶 ,  岡田 薫 ,  竹山 圭太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-059470
公開番号（公開出願番号）：特開2017-174975
出願日： 2016年03月24日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：
【課題】塩化水素を含有しなくとも、エッチングによる細り幅が少なく、直線性が良好であるとともに所望の幅を有する細線を形成することが可能な、酸化インジウム系層のエッチングに有用なエッチング液組成物を提供する。【解決手段】酸化インジウム系層をエッチングするためのエッチング液組成物である。(A)過酸化水素0.01〜15質量%;(B)硫酸1〜40質量%;(C)下記一般式(1)(R1、R2、及びR3:水素、炭素原子数1〜8のアルキル基等)で表されるアミド化合物0.01〜10質量%;及び水を含有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸化インジウム系層をエッチングするためのエッチング液組成物であって、 (A)過酸化水素0.01〜15質量%; (B)硫酸1〜40質量%; (C)下記一般式(1)で表されるアミド化合物0.01〜10質量%;及び 水を含有するエッチング液組成物。
IPC (6件)：
H01L 21/308 ,  H01L 21/321 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/532 ,  H01L 21/320 ,  C23F 1/18
FI (5件)：
H01L21/308 Z ,  H01L21/308 F ,  H01L21/88 C ,  H01L21/88 M ,  C23F1/18
Fターム (31件)：
4K057WA11 ,  4K057WB01 ,  4K057WB04 ,  4K057WE03 ,  4K057WE12 ,  4K057WE25 ,  4K057WF01 ,  4K057WF04 ,  4K057WG01 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  4K057WN01 ,  5F033GG04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH11 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH20 ,  5F033HH38 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ20 ,  5F033WW04 ,  5F033XX03 ,  5F043AA21 ,  5F043BB00 ,  5F043BB14 ,  5F043GG02
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM