特許
J-GLOBAL ID：201703003752894180
磁気記録媒体用スパッタリングターゲット及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小越 勇
, 小越 一輝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-503813
特許番号：特許第6083679号
出願日： 2013年03月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 Cr:1〜40at%、Pt:1〜26at%、B:1〜15at%、残部Co及び不可避的不純物からなるCo-Cr-Pt-B系スパッタリングターゲットであって、Bリッチ相の平均粒子面積が90μm2以下であり、最大透磁率(μmax)が50以下であり、Bリッチ相の割れが2500個以下/mm2であることを特徴とする磁気記録媒体用スパッタリングターゲット。
IPC (9件)：
G11B 5/851 ( 200 6.01)
, B21B 3/00 ( 200 6.01)
, C22C 5/04 ( 200 6.01)
, C22C 19/07 ( 200 6.01)
, C22F 1/00 ( 200 6.01)
, C22F 1/10 ( 200 6.01)
, C22F 1/14 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
, H01F 41/18 ( 200 6.01)
G11B 5/851
, B21B 3/00 L
, C22C 5/04
, C22C 19/07 C
, C22F 1/00 613
, C22F 1/00 630 K
, C22F 1/00 661 D
, C22F 1/00 682
, C22F 1/00 683
, C22F 1/00 685 Z
, C22F 1/00 691 B
, C22F 1/00 694 A
, C22F 1/00 694 Z
, C22F 1/10 J
, C22F 1/14
, C23C 14/34 A
, H01F 41/18
