特許
J-GLOBAL ID：201703006434557697
搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-198470
公開番号（公開出願番号）：特開2014-050940
特許番号：特許第6074961号
出願日： 2012年09月10日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークを吸着して保持するロボットハンドと、
前記ロボットハンドを端部に備えるロボットアームと、を備える搬送装置であって、
前記ロボットハンドは、前記ワークであるウエハ及びマスクの外形形状と略等しく、且つ前記ワークであるホルダの外形形状より小さい、外形形状を有し、上面に前記ホルダが載置される本体部と、前記本体部から延在し、上面が前記本体部の上面と同一平面に形成される延在部と、を備え、
前記延在部の上面に形成される複数の第1の吸気孔と、
前記第1の吸気孔に連通される第1の真空経路と、
前記本体部の下面に形成される複数の第2の吸気孔と、
前記第2の吸気孔に連通される第2の真空経路と、を備え、
前記延在部の上面に載置された前記ワークを前記第1の吸気孔により前記延在部の上面に吸着して搬送可能であると共に、前記ワークを前記第2の吸気孔により重力に逆らって前記本体部の下面に吸着して搬送可能である、
搬送装置。
IPC (2件)：
B25J 15/06 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
B25J 15/06 A
, H01L 21/68 B
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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