気相成長装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：志賀正武 , 鈴木三義 , 伏見俊介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-064867
公開番号（公開出願番号）：特開2017-183365
出願日： 2016年03月29日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】自転機構の摩耗に対する耐久性を改善するとともに、基板表面の面内温度分布の均一性を担保することが可能な気相成長装置を提供する。【解決手段】均熱部材7の少なくとも外周部7cにおける厚さがサセプタ2と同じ厚さであり、均熱部材7の裏面には、中心側から外周部7c側の間のいずれかの位置に周方向の全体に亘るように薄肉部7Bが設けられており、薄肉部7Bを断面視した際に、少なくとも外周部7c側の側面7eが、1段以上の傾斜面または曲面によって構成される気相成長装置31を選択する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

チャンバー内に回転可能に設けられた円盤状のサセプタと、前記サセプタの外周部の周方向に複数設けられた円形の開口部と、前記開口部内にそれぞれ設けられた軸受部と、前記軸受部に設けられた周溝上に、回転可能に設けられた転動部材と、外周側に外歯車を有するとともに、前記転動部材を前記軸受部とで挟み込む外歯車部材と、前記開口部の中心を中心軸とする回転対称体であり、当該開口部を閉塞するとともに、外周部の少なくとも一部が前記外歯車部材上に載置されて当該外歯車部材と共に回転可能に設けられた均熱部材と、前記外歯車部材の外歯車に噛合する歯車を有するリング状の固定歯車部材と、前記サセプタの裏面側に設けられ、当該サセプタと、前記開口部から前記裏面側に露出する前記均熱部材を加熱する加熱手段と、前記サセプタの表面側の中央に設けられた原料ガス導入ノズルと、を備えた気相成長装置であって、前記均熱部材は、前記開口部を閉塞するように設けた際に、前記サセプタの回転軸方向において、当該均熱部材の表面の高さが当該サセプタの表面の高さと同じ位置であり、当該均熱部材の裏面の外周部の高さが当該サセプタの裏面の高さと同じ位置であるとともに、前記均熱部材の裏面には、中心側から前記外周部側の間のいずれかの位置に周方向の全体に亘るように薄肉部が設けられており、前記薄肉部を断面視した際に、少なくとも前記外周部側の側面が、1段以上の傾斜面または曲面によって構成される、気相成長装置。

IPC (3件)：

H01L 21/205 , C23C 16/46 , H01L 21/683

FI (3件)：

H01L21/205 , C23C16/46 , H01L21/68 N

Fターム (37件)：

4K030CA12 , 4K030EA06 , 4K030GA02 , 4K030GA06 , 4K030KA23 , 4K030KA47 , 4K030LA12 , 5F045AB14 , 5F045BB02 , 5F045BB15 , 5F045DP15 , 5F045DP27 , 5F045DP28 , 5F045EK07 , 5F045EK21 , 5F045EK22 , 5F131AA02 , 5F131AA22 , 5F131CA03 , 5F131CA06 , 5F131CA07 , 5F131CA09 , 5F131CA12 , 5F131CA15 , 5F131CA17 , 5F131CA32 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131EA04 , 5F131EA17 , 5F131EA24 , 5F131EB55 , 5F131EB57 , 5F131EB67 , 5F131EB78 , 5F131EB79 , 5F131EB81

引用特許：

審査官引用 (6件)

気相成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-028547 出願人：大陽日酸株式会社
気相成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-127103 出願人：大陽日酸株式会社
気相成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-123662 出願人：大陽日酸株式会社, 大陽日酸イー・エム・シー株式会社

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