特許
J-GLOBAL ID：201703013313648144
電子ビーム照射装置および電子ビーム照射方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-242958
公開番号（公開出願番号）：特開2015-101758
特許番号：特許第6040920号
出願日： 2013年11月25日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 順次搬送される金属ストリップの表面に対して電子ビームを前記金属ストリップの材幅方向に連続的に照射する電子ビーム走査を行う電子ビーム照射装置において、
前記金属ストリップの表面に照射する電子ビームの走査可能幅の1/2以下となる間隔をもって各々隣り合い、且つ前記材幅方向に等間隔に配置される複数の電子銃と、
前記金属ストリップの表面に対する前記電子ビーム走査を前記材幅方向に分担して行うように前記複数の電子銃を制御し、前記複数の電子銃の中に電子ビームを照射不能な電子銃がある場合、前記複数の電子銃のうち、前記照射不能な電子銃と隣り合う正常な電子銃の電子ビームの走査幅を、前記正常な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を含むと同時に前記照射不能な電子銃の電子ビームの走査範囲全域を補うように拡大し、前記照射不能な電子銃を除く残りの電子銃に、前記金属ストリップの表面に対する前記電子ビーム走査を前記材幅方向に分担して行わせる制御部と、
を備えたことを特徴とする電子ビーム照射装置。
IPC (2件)：
C21D 8/12 ( 200 6.01)
, C21D 1/38 ( 200 6.01)
C21D 8/12 D
, C21D 1/38 A
