特許
J-GLOBAL ID：201703013620194959

インプリント方法

発明者：
高桑 真歩

高桑 真歩 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-153512
公開番号（公開出願番号）：特開2017-034126
出願日： 2015年08月03日
公開日（公表日）： 2017年02月09日
要約：
【課題】テンプレートをインプリント装置に取り付けた状態でテンプレートの表面の平坦度を計測するインプリント方法を提供する。【解決手段】実施形態によれば、まず、被加工基板の第1マークとテンプレートの第2マークとを重ね合わせ、アライメントスコープの第1光路上に配置した第1光源から電磁波を照射し、第2光路上に配置した第1受光センサで第1回折光を受光する。ついで、前記第1回折光を用いて前記テンプレートと前記被加工基板との間の位置ずれを補正する。その後、前記第1マークと前記テンプレートの第3マークとを重ね合わせる。ついで、前記アライメントスコープの前記第2光路上に配置した第2光源から前記電磁波を照射し、前記第1光路上に配置した第2受光センサで第2回折光を受光する。そして、前記第2回折光の受光強度から算出した前記第3マークの位置でのテンプレート高さに基づいて前記テンプレートの裏面の加圧状態を調整する。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
被加工基板の第1マークと、テンプレートの第2マークと、を重ね合わせ、 重ね合わせた前記第1および第2マークに垂直方向から所定の波長の電磁波を照射したときの1次回折角の方向から、前記第1および第2マークに前記電磁波を導く第1光路と、重ね合わせた前記第1および第2マークで垂直方向に回折される第1回折光を導く第2光路と、を形成するアライメントスコープの前記第1光路上に第1光源を配置し、前記第2光路上に第1受光センサを配置し、 前記第1光源から前記電磁波を照射して得られる、前記第1および第2マークからの前記第1回折光を、前記第1受光センサで受光し、 前記第1回折光を用いて前記テンプレートと前記被加工基板との間の位置ずれを補正し、 前記第1マークと、前記テンプレートの第3マークと、を重ね合わせ、
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  G01B 11/02
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z ,  G01B11/02 G
Fターム (53件)：
2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA09 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA47 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065CC20 ,  2F065DD06 ,  2F065EE05 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF48 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL42 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065TT02 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209AP06 ,  4F209AP20 ,  4F209AR02 ,  4F209AR12 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA31 ,  5F146EA07 ,  5F146EA12 ,  5F146EA13 ,  5F146EA18 ,  5F146EB01 ,  5F146EB02 ,  5F146ED01 ,  5F146FA05 ,  5F146FB08
引用特許：
審査官引用 (8件)
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