特許
J-GLOBAL ID：201703013727446853
マルチスペクトル画像システムおよびそれを用いた表面検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-501089
特許番号：特許第6189824号
出願日： 2012年03月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】周表面および側表面を同時に検査するためのマルチスペクトル画像システムであって、
第1の波長を有する第1のビーム光を前記周表面および前記側表面に導くように動作可能な第1の光源と、
前記第1の波長とは異なる第2の波長を有する第2のビーム光を前記周表面および前記側表面に導くように動作可能な第2の光源と、
レンズと、前記レンズの下流のビームスプリッタと、前記ビームスプリッタの下流の一対のセンサとを有するカメラとを備え、
前記ビームスプリッタは、前記第1のビーム光または前記第2のビーム光の一方が前記ビームスプリッタを通過するとともに前記第1のビーム光または前記第2のビーム光の他方が前記ビームスプリッタで反射されることを可能とし、
前記一対のセンサの一方は、前記第1の光源からの前記第1のビーム光を受け取って二次元画像を生成するように動作可能であり、
前記センサの他方は、前記第2の光源からの前記第2のビーム光を受け取って前記二次元画像とは異なる三次元画像を生成するように動作可能であって、
前記センサの少なくとも一方は、前記ビームスプリッタへ向かう軸に沿っておよび前記ビームスプリッタから離れる軸に沿って移動するように動作可能である、マルチスペクトル画像システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (10件)
-
3次元入力方法及び3次元入力装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-257871
出願人：ミノルタ株式会社
-
マスク欠陥検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-193010
出願人：株式会社東芝, 株式会社トプコン
-
特開平4-137872
全件表示
審査官引用 (11件)
全件表示
前のページに戻る
