特許
J-GLOBAL ID：201703014076987024
磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉浦 秀幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-142833
公開番号（公開出願番号）：特開2013-033581
特許番号：特許第6037206号
出願日： 2012年06月26日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一般式:{(FexPt100-x)(100-y)Iny}(100-z)Cz、原子比により30≦x≦80、1≦y≦20、3≦z≦65で表される組成を有した焼結体からなり、
酸素の含有量が、500ppm以下であり、
密度比が、96.3%以上であることを特徴とする磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット。
IPC (4件)：
G11B 5/851 ( 200 6.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
, G11B 5/64 ( 200 6.01)
, G11B 5/65 ( 200 6.01)
G11B 5/851
, C23C 14/34 A
, G11B 5/64
, G11B 5/65
