特許
J-GLOBAL ID：201703017066988471
レーザ加工装置及びレーザ加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-071003
公開番号（公開出願番号）：特開2017-177194
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：
【課題】レーザ加工に伴って生じる膜の剥離、デブリ、熱の影響を抑え、保護被膜を必要とせず、高い加工品質を確保することができるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供する。【解決手段】レーザ加工装置10の加工ユニット30は、レーザ光源12から出射された加工用レーザ光L1を第1加工光L1sと第2加工光L1pとに分岐する偏光ビームスプリッタ36と、加工ユニット30に対してX方向に相対移動する被加工物Wに対し、X方向に沿った加工予定領域のうちY方向の両側の外縁部に第1加工光L1sを集光する分岐集光手段40と、加工ユニット30に対してX方向に相対移動する被加工物Wに対し、加圧液体を液体ジェットJにて噴射し、かつ液体ジェットJを導波路として利用して第2加工光L1pを加工予定領域の内側領域に照射する加工ヘッド60と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加工用レーザ光を出射するレーザ光源と、前記加工用レーザ光を用いて被加工物をレーザ加工する加工ユニットと、前記加工ユニットと前記被加工物とを相対移動させる移動手段とを有するレーザ加工装置であって、
前記加工ユニットは、
前記レーザ光源から出射された前記加工用レーザ光を第1のレーザ光と第2のレーザ光とに分岐する光分岐手段と、
前記移動手段により前記加工ユニットに対して第1の方向に相対移動する前記被加工物に対し、前記第1の方向に沿った加工予定領域のうち前記第1の方向に直交する第2の方向の両側の外縁部に前記第1のレーザ光を集光する直接集光手段と、
前記移動手段により前記加工ユニットに対して前記第1の方向に相対移動する前記被加工物に対し、加圧液体を液体ジェットにて噴射し、かつ前記液体ジェットを導波路として利用して前記第2のレーザ光を前記加工予定領域のうち前記両側の外縁部に挟まれた内側領域に照射する加工ヘッドと、
を備えるレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/067
, B23K 26/146
, B23K 26/082
, B23K 26/064
B23K26/067
, B23K26/146
, B23K26/082
, B23K26/064 Z
4E168CB01
, 4E168CB04
, 4E168CB07
, 4E168CB13
, 4E168DA04
, 4E168DA32
, 4E168DA38
, 4E168DA44
, 4E168EA04
, 4E168EA05
, 4E168EA06
, 4E168EA11
, 4E168EA15
, 4E168EA16
, 4E168EA19
, 4E168FB09
, 4E168GA05
, 4E168HA01
