特許
J-GLOBAL ID：201703020432899283
検出装置及び検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
張川 隆司
, 山内 健吾
, 米田 恵太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-058287
公開番号（公開出願番号）：特開2017-174933
出願日： 2016年03月23日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：
【課題】対象物の表面の傾斜に基づきその対象物の表面に形成される欠陥を検出することが可能な検出装置及び検出方法を提供する。【解決手段】検出装置1は、照射装置3と、フォトダイオード4と、評価部5を備える。照射装置3は、基板Wの表面にレーザー光を照射する。フォトダイオード4は、レーザー光が基板Wの表面で反射した光が入射し、その光が入射した第1位置P1を検出する。評価部5は、算出部と検出部を有する。算出部は、第1位置P1と、レーザー光が平坦な基板Wの表面で反射する場合に光がフォトダイオード4に入射する第2位置P2に基づき基板Wの表面の傾斜を算出する。検出部は、算出部が算出した傾斜に基づき基板Wの表面に形成される欠陥を検出する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
対象物の表面にレーザー光を照射する照射部と、
前記レーザー光が前記表面で反射した光が入射し、その入射した第1位置を検出する光検出部と、
前記第1位置と、前記レーザー光が平坦な前記表面で反射する場合に光が前記光検出部に入射する第2位置に基づき前記表面の傾斜を算出する算出部と、
前記算出部が算出した前記傾斜に基づき前記表面に形成される欠陥を検出する検出部と、
を備えることを特徴とする検出装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/66 N
, G01N21/956 A
, H01L21/66 D
2G051AA51
, 2G051AB07
, 2G051AB20
, 2G051BA04
, 2G051BA10
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051DA08
, 2G051EA08
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CB19
, 4M106DB01
, 4M106DB08
, 4M106DB12
, 4M106DB13
, 4M106DH12
, 4M106DH32
, 4M106DH38
, 4M106DJ03
, 4M106DJ04
, 4M106DJ13
, 4M106DJ27
, 4M106DJ28
, 4M106DJ32
