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J-GLOBAL ID：201802211395942740   整理番号：18A0563971

空圧式除振装置と磁気軸受に対する周期振動の補償

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著者 (2件)： 中村幸紀 (岡山大 大学院自然科学研究科) ,  涌井伸二 (東京農工大 大学院工学研究院)
資料名： システム/制御/情報  (システム制御情報学会誌)
巻： 62  号： 3  ページ： 86-91  発行年： 2018年03月15日 
JST資料番号： G0902A  ISSN： 0916-1600  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・半導体の露光処理や電子顕微鏡による測定などで使われている空圧式除振装置と,磁気軸受使用のターボ分子ポンプにおける振動補償を解説。
・空圧式除振装置に関して,圧縮空気の圧力変動である流量外乱の補償について,繰り返し制御によるフィードバック型の補償法を説明。
・磁気軸受使用のターボ分子ポンプに関して,不釣合い振動補償器付きの5軸制御形磁気軸受の制御系を示して,解説。
・不釣合い振動補償について,ゲイン安定化手法と対になる減衰のみ付与可能な位相安定化手法の提案を紹介。

シソーラス用語： *防振装置 ,  *磁気軸受 ,  補償 ,  *分子ポンプ ,  圧縮空気 ,  圧力変動 ,  位相安定化 ,  ターボモレキュラポンプ ,  *滑り軸受
準シソーラス用語： ターボ分子ポンプ ,  除振装置

分類 (1件)： 振動伝搬  (BB02040K)

引用文献 (10件)：

• [1] 涌井,瓜生,高橋,山本:空圧式除振装置に対する元圧・ 元流量変動フィードフォワード制御;精密工学会誌, Vol. 73, No. 11, pp. 1215-1219 (2007)
• [2] 中村,野口,涌井:除振率を考慮した空圧式アクティブ除振装置に対する流量外乱の一抑制法;電気学会論文誌C, Vol. 134, No. 9, pp. 1182-1190 (2014)
• [3] S. Hara, Y. Yamamoto, T. Omata and M. Nakano: Repetitive control system: A new type servo system for periodic exogenous signals; IEEE Transactions on Automatic Control, Vol. 33, No. 7, pp. 659-668 (1988)
• [4] 中野,井上,山本,原:繰返し制御,コロナ社(1989)
• [5] 中村, 涌井:5 軸能動形磁気軸受の不釣り合い振動補償器に対する一設計法;日本機械学会論文集, Vol. 81, No. 824,pp. 1-14 (2015)

タイトルに関連する用語 (5件)： 空圧 ,  除振装置 ,  磁気軸受 ,  周期 ,  補償