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J-GLOBAL ID：201802211395942740   Reference number：18A0563971

空圧式除振装置と磁気軸受に対する周期振動の補償

Author (2)： NAKAMURA YUKINORI (岡山大 大学院自然科学研究科) ,  WAKUI SHINJI (東京農工大 大学院工学研究院)
Material： システム/制御/情報  (システム制御情報学会誌)
Volume： 62  Issue： 3  Page： 86-91  Publication year： Mar. 15, 2018 
JST Material Number： G0902A  ISSN： 0916-1600  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vibration isolator ,  *magnetic bearing ,  compensation ,  *molecular pump ,  Compressed Air ,  pressure fluctuation ,  phase stabilization ,  turbo molecular pump ,  *slide bearing
Semi thesaurus term： turbo molecular pump ,  vibration isolator

JST classification (1)： Propagation of vibrations  (BB02040K)

Reference (10)：

• [1] 涌井,瓜生,高橋,山本:空圧式除振装置に対する元圧・ 元流量変動フィードフォワード制御;精密工学会誌, Vol. 73, No. 11, pp. 1215-1219 (2007)
• [2] 中村,野口,涌井:除振率を考慮した空圧式アクティブ除振装置に対する流量外乱の一抑制法;電気学会論文誌C, Vol. 134, No. 9, pp. 1182-1190 (2014)
• [3] S. Hara, Y. Yamamoto, T. Omata and M. Nakano: Repetitive control system: A new type servo system for periodic exogenous signals; IEEE Transactions on Automatic Control, Vol. 33, No. 7, pp. 659-668 (1988)
• [4] 中野,井上,山本,原:繰返し制御,コロナ社(1989)
• [5] 中村, 涌井:5 軸能動形磁気軸受の不釣り合い振動補償器に対する一設計法;日本機械学会論文集, Vol. 81, No. 824,pp. 1-14 (2015)

Terms in the title (5)： 空圧 ,  除振装置 ,  磁気軸受 ,  周期 ,  補償