文献

J-GLOBAL ID：201802273028916889   整理番号：18A1330572

リモート酸素プラズマによる酸化ガリウム/窒化ガリウム界面の低温形成と界面特性

Low-temperature formation of Ga-oxide/GaN interface with remote oxygen plasma and its interface properties

著者 (14件)： YAMAMOTO Taishi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YAMAMOTO Taishi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  TAOKA Noriyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  OHTA Akio (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TRUYEN Nguyen Xuan (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TRUYEN Nguyen Xuan (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  YAMADA Hisashi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  TAKAHASHI Tokio (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  IKEDA Mitsuhisa (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MAKIHARA Katsunori (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SHIMIZU Mitsuaki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  SHIMIZU Mitsuaki (Nagoya Univ. Inst. of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya, JPN) ,  MIYAZAKI Seiichi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MIYAZAKI Seiichi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 6S2  ページ： 06JE01.1-06JE01.5  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *プラズマ生成 ,  *プラズマ ,  *酸化ガリウム ,  *窒化ガリウム ,  界面 ,  低温生成 ,  *特性 ,  原子間力顕微鏡 ,  表面 ,  X線光電子分光法 ,  結合エネルギー ,  光電子分光法 ,  *酸素プラズマ ,  半導体表面 ,  光電子収率分光法 ,  *リモートプラズマ生成
準シソーラス用語： *リモートプラズマ ,  *界面特性

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体の表面構造  (BK15030A) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K)

引用文献 (33件)：

• H. Okumura, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 7565 (2006).
• T. Kachi, Jpn. J. Appl. Phys. 53, 100210 (2014).
• D. S. Lee, Z. Liu, and T. Palacios, Jpn. J. Appl. Phys. 53, 100212 (2014).
• T. Ueda, M. Ishida, T. Tanaka, and D. Ueda, Jpn. J. Appl. Phys. 53, 100214 (2014).
• W. Saito, I. Omura, T. Ogura, and H. Ohashi, Solid-State Electron. 48, 1555 (2004).

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸素プラズマ ,  酸化ガリウム ,  窒化ガリウム ,  界面 ,  低温形成 ,  界面特性