特許
J-GLOBAL ID：201803000126523977
テンプレートの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
藤枡 裕実
, 深町 圭子
, 伊藤 英生
, 後藤 直樹
, 立石 英之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-096105
公開番号（公開出願番号）：特開2018-133591
出願日： 2018年05月18日
公開日（公表日）： 2018年08月23日
要約：
【課題】 テンプレートの転写パターン領域に異物の付着や欠陥を生じさせてしまうことを防止しつつ、高精度な位置合わせを可能とするテンプレートの製造方法を提供する。【解決手段】 主面2に、転写パターン領域20とアライメントマーク領域30を有し、アライメントマーク領域30に形成されるアライメントマークは凹部31と凸部32で構成されているテンプレート1を準備し、アライメントマーク領域30に局所的に高屈折材料膜40を堆積させ、その後、アライメントマーク領域30の凹部31に堆積した高屈折材料膜40を残して、テンプレート1の主面2から突出する前記高屈折材料膜40を除去する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
主面に、転写パターン領域とアライメントマーク領域を有し、前記アライメントマーク領域に形成されるアライメントマークは凹部と凸部から構成されており、前記アライメントマークの凹部の側壁面に、高屈折材料膜が形成されているテンプレートの製造方法であって、
前記アライメントマーク領域に局所的に前記高屈折材料膜を堆積させる工程と、
前記アライメントマークの前記凹部の側壁面に堆積した前記高屈折材料膜を残存させつつ、前記主面に堆積した前記高屈折材料膜を除去し、かつ、前記アライメントマークの前記凹部の底面に堆積した前記高屈折材料膜の少なくとも一部を除去して該底面の少なくとも一部を露出させる工程と、
を順に備えることを特徴とするテンプレートの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C33/38
4F202AF01
, 4F202AG05
, 4F202AJ01
, 4F202AJ09
, 4F202CA19
, 4F202CB01
, 4F202CD02
, 4F202CD23
, 4F202CK28
, 5F146AA32
, 5F146EA12
, 5F146EA22
, 5F146EB02
