特許
J-GLOBAL ID：201803000724223082

異種コンタクトを具備する集積回路、及びそれを含む半導体装置

発明者：
金 兌 衡

金 兌 衡 について

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都 ▲じょん▼ 湖

都 ▲じょん▼ 湖 について

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文 大 英

文 大 英 について

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白 尚 葉

白 尚 葉 について

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林 哉 ▲ひょん▼

林 哉 ▲ひょん▼ について

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崔 在 承

崔 在 承 について

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韓 相 信

韓 相 信 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (3件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦 ,  大貫 進介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-071710
公開番号（公開出願番号）：特開2018-182316
出願日： 2018年04月03日
公開日（公表日）： 2018年11月15日
要約：
【課題】 異種コンタクトを具備する集積回路、及びそれを含む半導体装置を提供する。【解決手段】 ゲートライン上に離隔された平面上において、第1水平方向に延在された複数本の導電ラインであって、第1導電ライン及び第2導電ラインを含む複数本の導電ライン、ソース/ドレイン領域に接続された下面を有し、垂直方向に相互接続された下部ソース/ドレインコンタクト及び上部ソース/ドレインコンタクトを含むソース/ドレインコンタクト、並びにゲートラインに接続された下面を有し、垂直方向に延在されるゲートコンタクトを含み、上部ソース/ドレインコンタクトは、第1導電ラインの下に位置し、ゲートコンタクトは、第2導電ラインの下に位置する集積回路である。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
基板上において、第1水平方向に延在される第1活性領域と、 前記第1活性領域上において、前記第1水平方向と交差する第2水平方向に延在されるゲートラインと、 前記第1活性領域上において、前記ゲートラインの一側に形成されたソース/ドレイン領域と、 前記ゲートライン上に離隔された平面上において、前記第1水平方向に延在された複数本の導電ラインであって、第1導電ライン及び第2導電ラインを含む複数本の導電ラインと、 前記ソース/ドレイン領域に接続された下面を有し、垂直方向に相互接続された下部ソース/ドレインコンタクト及び上部ソース/ドレインコンタクトを含むソース/ドレインコンタクトと、 前記ゲートラインに接続された下面を有し、垂直方向に延在されるゲートコンタクトと、を含み、 前記上部ソース/ドレインコンタクトは、前記第1導電ラインの下に位置し、 前記ゲートコンタクトは、前記第2導電ラインの下に位置することを特徴とする集積回路。
IPC (9件)：
H01L 21/82 ,  H01L 21/320 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/088 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04
FI (7件)：
H01L21/82 W ,  H01L21/88 Z ,  H01L21/90 B ,  H01L21/82 B ,  H01L27/092 F ,  H01L27/088 D ,  H01L27/04 D
Fターム (57件)：
5F033GG01 ,  5F033GG02 ,  5F033HH08 ,  5F033HH15 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033KK01 ,  5F033MM19 ,  5F033NN08 ,  5F033NN11 ,  5F033NN31 ,  5F033NN32 ,  5F033UU04 ,  5F033VV06 ,  5F038CA05 ,  5F038CD00 ,  5F038DF04 ,  5F038DF05 ,  5F038EZ01 ,  5F038EZ02 ,  5F038EZ15 ,  5F038EZ20 ,  5F048AA01 ,  5F048AB04 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BA14 ,  5F048BA15 ,  5F048BB09 ,  5F048BB13 ,  5F048BF12 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F064AA04 ,  5F064BB07 ,  5F064BB09 ,  5F064BB13 ,  5F064BB14 ,  5F064BB15 ,  5F064BB35 ,  5F064CC12 ,  5F064CC25 ,  5F064CC26 ,  5F064DD07 ,  5F064DD12 ,  5F064DD24 ,  5F064EE16 ,  5F064EE19 ,  5F064EE23 ,  5F064EE26 ,  5F064EE27 ,  5F064EE56 ,  5F064GG03 ,  5F064HH12
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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