特許
J-GLOBAL ID：201803001821578894

光偏向器及びその製造方法

発明者：
秋山 慶太

秋山 慶太 について


出願人/特許権者：
スタンレー電気株式会社

スタンレー電気株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-241031
公開番号（公開出願番号）：特開2015-102592
特許番号：特許第6307253号
出願日： 2013年11月21日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ミラー部と、該ミラー部を回動させるアクチュエータ部と、上面にボンディングパッドを形成したパッド部と、該パッド部から前記アクチュエータ部に電圧を印加するための配線部とを備える光偏向器であって、 基板層と、該基板層上に1000nm以上の厚さで形成された酸化膜層と、該酸化膜層上に形成され、圧電膜層を含むアクチュエータ層とを備える積層構造を有し、 前記アクチュエータ部は、前記積層構造を含み、 前記パッド部は、前記積層構造の上面側からの前記アクチュエータ層のエッチングにより露出した前記酸化膜層の上に形成された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に前記配線部の端部として形成された配線層と、前記配線層上に前記ボンディングパッドとして形成されたパッド層とを含むことを特徴とする光偏向器。
IPC (4件)：
G02B 26/08 ( 200 6.01) ,  G02B 26/10 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G02B 26/08 E ,  G02B 26/10 104 Z ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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