特許
J-GLOBAL ID:201803002861066698
金属弾性部材及び微小機械装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
橋本 薫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-089656
公開番号(公開出願番号):特開2018-124589
出願日: 2018年05月08日
公開日(公表日): 2018年08月09日
要約:
【課題】内部摩擦による発熱を効率よく放熱して、長期にわたり安定して動作可能な金属弾性部材及び当該金属弾性部材を用いた微小機械装置を提供する。【解決手段】梁部4を捻り回転軸とする軸心P周りに可動部3を揺動可能な微小機械装置の梁部4に用いられる金属弾性部材で、互いに分離して構成され、可動部3を揺動する所定長の一対の金属棒状部4aと、一対の金属棒状部4aの各々の一端側に形成され固定部2に固定する固定側パッド4bと、一対の金属棒状部4aの各々の他端側に配置され可動部3に固定する可動側パッド4cとを含み、少なくとも金属棒状部は、機械的加工法を除く物理的または化学的加工法を用いて断面積が1mm2以下に成形されるとともに、捻り回転軸Pと交差する方向に複数の突起4dが延出形成されている。【選択図】図3
請求項(抜粋):
少なくとも一つの可動部と、固定部と、両側から前記可動部を前記固定部に支持する一対の梁部とを含み、前記梁部を捻り回転軸とする軸心周りに前記可動部を揺動可能な微小機械装置の前記梁部に用いられる金属弾性部材であって、
互いに分離して構成され、前記可動部を揺動する所定長の一対の金属棒状部と、前記一対の金属棒状部の各々の一端側に形成され前記固定部に固定する固定側パッドと、前記一対の金属棒状部の各々の他端側に配置され前記可動部に固定する可動側パッドとを含み、
少なくとも前記一対の金属棒状部は、研削加工物及び塑性加工物を除く物理的または化学的加工物により断面積が1mm2以下に成形されるとともに、前記捻り回転軸と交差する方向に複数の突起が延出形成されている金属弾性部材。
IPC (3件):
G02B 26/10
, G02B 26/08
, B81B 3/00
FI (3件):
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, B81B3/00
Fターム (35件):
2H045AB06
, 2H045AB16
, 2H045AB38
, 2H045AB72
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC05
, 2H141MD12
, 2H141MD16
, 2H141MD20
, 2H141MD23
, 2H141MD24
, 2H141ME25
, 2H141MF04
, 2H141MF24
, 2H141MG06
, 2H141MG10
, 2H141MZ06
, 2H141MZ16
, 2H141MZ24
, 2H141MZ27
, 2H141MZ28
, 3C081AA05
, 3C081BA22
, 3C081BA28
, 3C081BA29
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA47
, 3C081BA54
, 3C081CA05
, 3C081CA15
, 3C081CA40
, 3C081DA11
, 3C081EA08
引用特許:
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