特許
J-GLOBAL ID:201803003992997901

表面処理方法および表面処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  石川 滝治 ,  美馬 保彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-121911
公開番号(公開出願番号):特開2017-226860
出願日: 2016年06月20日
公開日(公表日): 2017年12月28日
要約:
【課題】被処理物の表面をより均一に加熱した状態で、効率的に表面処理を行うことができる表面処理方法および装置を提供する。【解決手段】加熱された鋼製の被処理物Pに処理ガスG2を接触させて、処理ガスG2の元素を固溶することにより被処理物Pの表面処理を行う表面処理方法である。被処理物Pが配置された雰囲気を加熱することにより、表面処理を行う処理温度T3近傍の昇温温度T1まで、被処理物Pを昇温する。昇温された状態の被処理物Pを処理温度T3に直接加熱しつつ、被処理物Pの表面に処理ガスを接触させることにより、表面処理を行う。【選択図】図3
請求項(抜粋):
加熱された鋼製の被処理物に処理ガスを接触させて、前記処理ガスの元素を固溶することにより前記被処理物の表面処理を行う表面処理方法であって、 前記被処理物が配置された雰囲気を加熱することにより、前記表面処理を行う処理温度近傍の昇温温度まで、前記被処理物を昇温する昇温工程と、 前記昇温された状態の被処理物を前記処理温度に直接加熱しつつ、前記被処理物の表面に前記処理ガスを接触させることにより、前記表面処理を行う表面処理工程と、を含むことを特徴とする表面処理方法。
IPC (5件):
C23C 8/08 ,  C23C 8/24 ,  C21D 1/76 ,  C21D 9/32 ,  C21D 1/06
FI (6件):
C23C8/08 ,  C23C8/24 ,  C21D1/76 M ,  C21D9/32 A ,  C21D9/32 B ,  C21D1/06 A
Fターム (16件):
4K028AA02 ,  4K028AB01 ,  4K028AB06 ,  4K028AC07 ,  4K028AC08 ,  4K042AA18 ,  4K042BA03 ,  4K042BA10 ,  4K042CA15 ,  4K042DA06 ,  4K042DB04 ,  4K042DB08 ,  4K042DC02 ,  4K042DC03 ,  4K042DC04 ,  4K042DC05
引用特許:
審査官引用 (11件)
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