半導体検査ツールにおいてサンプルステージの運動を時間遅延積分電荷結合素子で同期させる装置および方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-505979
特許番号：特許第6316800号
出願日： 2013年04月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】検査ツールにおいて時間遅延積分(TDI)電荷結合素子(CCD)でサンプルを保持するステージの運動を同期させる方法であって: 検査される前記サンプルを保持する前記ステージの横方向の位置を測定すること; 前記ステージの垂直方向の位置を測定すること; 測定された前記横方向の位置および前記垂直方向の位置に基づいて前記サンプルの画像化ピクセルの補正された横方向の位置を決定すること; 前記画像化ピクセルの補正された前記横方向の位置を用いて前記CCDの電荷移動を同期させることを含む、方法。

IPC (3件)：