特許
J-GLOBAL ID：201803008652789001
質量分析装置および質量分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人太陽国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-054691
公開番号（公開出願番号）：特開2018-156904
出願日： 2017年03月21日
公開日（公表日）： 2018年10月04日
要約：
【課題】固体試料から放出された原子のイオン化確率を向上させた質量分析装置および質量分析方法を提供する。【解決手段】質量分析方法20は、真空チャンバ22と、真空チャンバ22内に配置された試料台24と、試料台24上に配置された固体試料XにイオンビームBを照射して原子を放出させるイオンビーム源26と、固体試料XのイオンビームBの照射領域の上方にレーザ光L1を通過させるレーザ光源28と、真空チャンバ22内に配置され、レーザ光L1を反射し、照射領域の上方でレーザ光L1と反射光L2とを重ね合わせる反射鏡30と、レーザ光L1及び反射光L2によってイオン化された原子の質量を分析可能な分析部32と、を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に配置された試料台と、
前記試料台上に配置された固体試料にイオンビームを照射して原子を放出させるイオンビーム源と、
前記固体試料の前記イオンビームの照射領域の上方にレーザ光を通過させるレーザ光源と、
前記真空チャンバ内に配置され、前記レーザ光を反射し、前記照射領域の上方で前記レーザ光と反射光とを重ね合わせる反射鏡と、
前記レーザ光及び前記反射光によってイオン化された前記原子の質量を分析する分析部と、
を有する質量分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2G041CA01
, 2G041DA03
, 2G041DA16
, 2G041EA01
, 5C038GG07
, 5C038GH06
, 5C038GH10
