特許
J-GLOBAL ID：201803010769693018
超高速電子検出器および該検出器を組み込んだ走査型電子ビーム検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-119411
公開番号（公開出願番号）：特開2018-142559
出願日： 2018年06月25日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：
【目的】本発明は、超高速電子検出器および該検出器を組み込んだ走査型電子ビーム検査装置に関し、電子ビームによる高速検査を実現可能にする超高速電子検出装置および該検出装置を組み込んだ走査型電子ビーム検査装置を提供することを目的とする。【構成】サンプルから放出された電子ビームあるいはサンプルで反射された電子ビームを受ける第1の開口部と、第1の開口部で受けられた電子ビームあるいは受けられて増幅された電子ビームを、加速する加速電圧を印加し、かつ第1の開口部の面積よりも小さい第2の開口部を有するダイオード検出器と、第1の開口部で受けられた電子ビームあるいは受けられて増幅された電子ビームの面積を縮小して一定のエネルギーに加速して第2の開口部に入射させる縮小入射手段とを備え、サンプルから放出あるいは反射された電子数とダイオード検出器で検出される検出電流量とを比例関係にするように構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
サンプルから放出あるいはサンプルで反射された電子ビームを超高速に検出する超高速電子検出器において、
前記サンプルから放出された電子ビームあるいはサンプルで反射された電子ビームを受ける第1の開口部と、
前記第1の開口部で受けられた電子ビームあるいは受けられて増幅された電子ビームを、加速する加速電圧を印加し、かつ前記第1の開口部の面積よりも小さい第2の開口部を有するダイオード検出器と、
前記第1の開口部で受けられた電子ビームあるいは受けられて増幅された電子ビームの面積を縮小して一定のエネルギーに加速して第2の開口部に入射させる縮小入射手段と
を備え、
サンプルから放出あるいは反射された電子数とダイオード検出器で検出される検出電流量とを比例関係にしたことを特徴とする超高速電子検出器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5C033NN01
, 5C033NN02
, 5C033NP08
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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