特許
J-GLOBAL ID：201803010820951434
描画データの作成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
池上 徹真
, 須藤 章
, 高下 雅弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-097442
公開番号（公開出願番号）：特開2018-142727
出願日： 2018年05月21日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：
【課題】図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を低減可能なデータフォーマットを用いた描画データの作成方法を提供することを目的とする。【解決手段】描画データの作成方法は、荷電粒子ビームを用いて試料に複数の図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、複数の図形情報が定義されると共に、複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成することを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを用いて試料に複数の図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
アレイ配置された図形群を抽出する工程と、
前記アレイ配置された図形群の抽出とは別に、各図形のドーズ量情報を抽出する工程と、
アレイ配置された図形群と、アレイ配置されない複数の同じ図形と、同じ図形がない複数の同じ図形種の図形とのそれぞれの場合ごとに、複数の図形情報が定義されると共に、前記複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義されるデータフォーマットに従ってフォーマット変換することによって前記描画データを作成する工程と、
を備えたことを特徴とする描画データの作成方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 541M
, H01L21/30 541Q
5F056AA04
, 5F056CA01
, 5F056CA11
, 5F056CD11
