特許
J-GLOBAL ID：201803014202886937
ポジ作動型感光性材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
江崎 光史
, 鍛冶澤 實
, 上西 克礼
, 虎山 一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-545997
特許番号：特許第6248121号
出願日： 2013年12月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ポジ作動型感光性組成物であって、
a.少なくとも一つの光酸発生剤; 及び
b.(メタ)アクリレートに由来する一つまたは二つ以上の繰り返し単位を含み、更に少なくとも一つの酸解裂性基を有する一つまたは二つ以上の繰り返し単位を含む、以下の式(5)を有する少なくとも一つのポリマー、
[式中、
式中、R8〜R12は、独立して、-H、Fまたは-CH3であり、Aは、線状または分枝状C1〜C10アルキレン基であり、Bは、C1〜C12アルキルもしくは脂肪環式基であり、Dは連結基であり、この連結基は、化学結合、カルボキシレート基(ここでそのカルボニル炭素はポリマー主鎖に結合する)または-COOCH2-基(ここでそのカルボニル炭素はポリマー主鎖に結合する)であることができ、Arは、置換されたもしくは置換されていない芳香族基またはヘテロ芳香族基であり、Eは、線状もしくは分枝状C2〜C10アルキレン基であり、Gは、酸解裂性基であり、vは0〜10モル%、wは0モル%〜20モル%、xは14モル%〜80モル%、yは0モル%〜40モル%であり、そしてzは20モル%〜50モル%である。]、及び
c.次の一般式から選択される環構造またはそれらの互変異性体を含む少なくとも一つのヘテロ環式チオール化合物、
[前記環構造は、原子数4〜8の単環構造であり、この単環構造は、ヘテロ芳香族環を含み、Xは、単結合によって環中に結合しておりそしてCR1R2、O、S、Se、TeまたはNR3から選択されるか、あるいはXは二重結合によって環中に結合しておりそしてCR1またはNから選択され、YはCR1またはNから選択され、そしてR1、R2及びR3は、独立して、H、炭素原子数1〜8の置換されたアルキル基、炭素原子数1〜8の置換されていないアルキル基、炭素原子数1〜8の置換されたアルケニル基、炭素原子数1〜8の置換されていないアルケニル基、炭素原子数1〜8の置換されたアルキニル基、炭素原子数1〜8の置換されていないアルキニル基、炭素原子数1〜20の置換された芳香族基、炭素原子数1〜20の置換されたヘテロ芳香族基、炭素原子数1〜20の置換されていない芳香族基、及び炭素原子数1〜20の置換されていないヘテロ芳香族基からなる群から選択され、及びヘテロ環状チオール化合物の環構造は、置換されていないか、あるいはヒドロキシル、飽和炭化水素基、不飽和炭化水素基、芳香族環、脂肪族アルコール、芳香族アルコール、ヘテロ芳香族アルコール、アミン、アミド、イミド、カルボン酸、エステル、エーテル、及びハライドからなる群から選択される置換基で置換されていてよく、但し、以下の式の化合物は除かれる。]
及び/あるいは
2-アザビシクロ[3.2.1]オクタ-2-エン-3-チオール、2-アザビシクロ[2.2.1]ヘプタ-2-エン-3-チオール、5-アミノ-6-フェニル-2-チオウラシル、5-アリル-6-フェニル-2-チオウラシル、5-ベンジル-2-チオウラシル、5-ベンジル-6-メチル-2-チオウラシル、6-(m-ニトロフェニル)-2-チオウラシル、6-(m-ニトロフェニル)-5-n-プロピル-2-チオウラシル、6-α-ナフチル-2-チオウラシル、6-α-ナフチル-5-t-ブチル-2-チオウラシル、6-(p-クロロフェニル)-2-チオウラシル、6-(p-クロロフェニル)-2-エチル-2-チオウラシル、5-アミノ-6-フェニル-2-チオウラシル、5-アミノ-6-(p-クロロフェニル)-2-チオウラシル、5-メトキシ-6-フェニル-2-チオウラシルからなる群から選択される少なくとも一つのヘテロ環式チオール化合物またはそれらの互変異性体
を含む前記ポジ作動型感光性組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/09 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/09 501
