特許
J-GLOBAL ID：201803016647393666

計測装置及び色収差光学系

発明者：
伊藤 優作

伊藤 優作 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-130008
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004381
出願日： 2016年06月30日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】白色光を複数の波長に分光して被検査物の高さ位置を検出する場合において、波長に起因して計測精度が不均一になることを抑制することができる計測装置を提供する。【解決手段】計測装置は、白色光を照射する白色光源と、白色光を複数の波長に分光して複数の集光点を光軸に並べて被検査物に導く収差補正がなされた無収差集光器と、被検査物から反射する光の波長によって高さ位置を検出する検出手段と、を含む。白色光源と無収差集光器との間には、無収差集光器によって集光される複数の波長毎の開口数が同じになるように色収差光学系が配置される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
白色光を照射する白色光源と、白色光を複数の波長に分光して複数の集光点を光軸に並べて被検査物に導く収差補正がなされた無収差集光器と、被検査物から反射する光の波長によって高さ位置を検出する検出手段と、を含む計測装置であって、 該白色光源と該無収差集光器との間には、該無収差集光器によって集光される複数の波長毎の開口数が同じになるように色収差光学系が配置される計測装置。
IPC (1件)：
G01B 11/02
FI (2件)：
G01B11/02 G ,  G01B11/02 H
Fターム (18件)：
2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF10 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL42 ,  2F065PP12
引用特許：
審査官引用 (6件)
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