結晶の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-185984
公開番号（公開出願番号）：特開2017-024985
特許番号：特許第6267303号
出願日： 2016年09月23日
公開日（公表日）： 2017年02月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】炭化珪素の結晶の製造方法であって、珪素溶媒に炭素を溶解した溶液および炭化珪素の種結晶を準備する工程と、前記種結晶を前記溶液に接触させる工程と、前記溶液の温度を第1温度域まで上げる工程と、前記溶液の温度を前記第1温度域から第2温度域まで下げながら、前記種結晶を引き上げることによって炭化珪素の結晶を成長させる第1結晶成長工程と、前記溶液の温度を前記第2温度域から前記第1温度域まで上げる溶液昇温工程と、前記溶液の温度を前記第1温度域から前記第2温度域まで下げながら、前記種結晶を引き上げることによって炭化珪素の結晶を再び成長させる第2結晶成長工程と、を備え、前記溶液昇温工程の後に、前記溶液に珪素原料を追加する、結晶の製造方法。

IPC (3件)：