特許
J-GLOBAL ID：201903003024629572

基板検査装置、基板処理装置および基板検査方法

発明者：
松尾 友宏

松尾 友宏 について

, 
中川 幸治

中川 幸治 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について


代理人 (3件)： 福島 祥人 ,  中川 雅博 ,  澤村 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-040877
公開番号（公開出願番号）：特開2019-158363
出願日： 2018年03月07日
公開日（公表日）： 2019年09月19日
要約：
【課題】レンズの収差による歪が除去された補正画像データを容易に生成することができ、その補正画像データを用いて基板の検査を適切に行うことが可能な基板検査装置、基板処理装置および基板検査方法を提供する。【解決手段】第1の位置情報取得部321は、実画像において表された基板Wの外周部上の複数の外周点の位置を第1の外周位置情報として取得する。第2の位置情報取得部322は、補正画像において表されるべき複数の外周点の本来的な位置を第2の外周位置情報として取得する。位置関係特定部323は、第1および第2の外周位置情報に基づいて、基板の各部分を表す前記実画像データの各画素と基板の各部分を表す補正画像データの各画素との位置関係を特定する。画素値設定部324は、実画像データの各画素の値および特定された位置関係に基づいて、補正画像データの各画素の値を設定する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
少なくとも一部が円形の外周部を有する基板を撮像することにより基板の一面の実画像を表す実画像データを取得する画像データ取得部と、 前記実画像データに基づいて基板の一面の本来的な画像を補正画像として表す補正画像データを生成する補正画像データ生成部と、 前記補正画像データ生成部により生成された補正画像データに基づいて基板の検査を行う検査部とを備え、 前記補正画像データ生成部は、 前記実画像において表された基板の外周部上の複数の外周点の位置を第1の外周位置情報として取得する第1の位置情報取得部と、 前記補正画像において表されるべき複数の外周点の本来的な位置を第2の外周位置情報として取得する第2の位置情報取得部と、 前記第1の位置情報取得部により取得された第1の外周位置情報および前記第2の位置情報取得部により取得された第2の外周位置情報に基づいて、基板の各部分を表す前記実画像データの各画素と基板の各部分を表す前記補正画像データの各画素との位置関係を特定する位置関係特定部と、 前記実画像データの各画素の値および前記位置関係特定部により特定された位置関係に基づいて、前記補正画像データの各画素の値を設定する画素値設定部とを含む、基板検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/00 ,  G06T 5/00 ,  G06T 1/00 ,  G03F 7/20
FI (5件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/00 H ,  G06T5/00 725 ,  G06T1/00 305Z ,  G03F7/20 521
Fターム (50件)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA45 ,  2F065BB03 ,  2F065BB27 ,  2F065FF01 ,  2F065FF16 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM14 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ24 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051DA06 ,  2G051DA08 ,  2G051EA02 ,  2G051EC07 ,  2G051ED04 ,  2G051ED08 ,  2G051ED15 ,  2G051ED22 ,  2H197HA03 ,  2H197JA18 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CD12 ,  5B057DA20 ,  5B057DB02 ,  5B057DC09
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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