特許
J-GLOBAL ID：201603003375059118

ウェハ欠陥検査装置

発明者：
大島 琢也

大島 琢也 について


出願人/特許権者：
株式会社昭和電気研究所

株式会社昭和電気研究所 について


代理人 (1件)： 平井 安雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-031561
公開番号（公開出願番号）：特開2016-156822
出願日： 2016年02月23日
公開日（公表日）： 2016年09月01日
要約：
【課題】装置構成が簡易であり、ウェハの表面上のクラックの位置を特定することができ、安価なウェハ欠陥検査装置を提供する。【解決手段】ウェハ200を撮像領域に載置させる載置手段10と、載置手段10上のウェハ200の表面に光を照射する照明手段20と、ウェハ200の表面で反射した光で当該ウェハ200の表面画像が投影されるスクリーン30と、照明手段20からの直接光がスクリーン30に照射されることを防ぐ遮光手段40と、スクリーン30に投影されたウェハ200の表面画像を撮像する第1の撮像手段50と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェハの欠陥を検出するウェハ欠陥検査装置において、 前記ウェハを撮像領域に載置させる載置手段と、 前記載置手段上のウェハの表面に光を照射する照明手段と、 前記ウェハの表面で反射した光で当該ウェハの表面画像が投影されるスクリーンと、 前記照明手段からの直接光が前記スクリーンに照射されることを防ぐ遮光手段と、 前記スクリーンに投影された前記ウェハの表面画像を撮像する撮像手段と、 を備えることを特徴とするウェハ欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  H01L21/66 J
Fターム (56件)：
2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD09 ,  2F065EE05 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF16 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG12 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ14 ,  2F065LL30 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ15 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ36 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB03 ,  2G051AB07 ,  2G051BB07 ,  2G051BC02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC20 ,  2G051DA06 ,  2G051EA02 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED08 ,  2G051ED13 ,  2G051ED15 ,  2G051FA02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106CA46 ,  4M106CA50 ,  4M106DB11 ,  4M106DB21
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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