特許
J-GLOBAL ID:201903003336386278
放電加工装置及び表面処理方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松山 裕一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-168155
公開番号(公開出願番号):特開2019-042668
出願日: 2017年09月01日
公開日(公表日): 2019年03月22日
要約:
【課題】各種資料の表面を微小に加工するに際してグローコロナを安定的に発生させて、加工対象試料と相互作用をさせてもコロナ放電を安定的に行うことができ、各種資料の表面を微小に加工することが可能な放電加工装置及び表面処理方法の提供。【解決手段】中央に開口部12を有する板状電極10と、電源に連結され、先端から放電可能に形成され且つ円形電極10における開口部12の中心に先端22が位置する棒状電極20と、棒状電極20の先端22の近傍に位置し、加工対象試料を微細に位置決め可能に保持する試料保持部30とを具備する放電加工装置1、並びに加工対象試料の表面処理方法であって、棒状電極20に交流電圧を印加し、棒状電極20の先端22にグローコロナを形成するコロナ放電工程と、上記金属電極40と棒状電極20との間にバリア放電を生ぜしめるバリア放電工程とを行う表面処理方法。【選択図】図1
請求項(抜粋):
中央に開口部を有する板状電極と、
電源に連結され、先端から放電可能に形成され且つ上記円形電極における上記開口部の中心に先端が位置する棒状電極と、
上記棒状電極の上記先端の近傍に位置し、加工対象試料を微細に位置決め可能に保持する試料保持部とを具備することを特徴とする放電加工装置。
IPC (3件):
B01J 19/08
, B29C 71/04
, H05H 1/24
FI (3件):
B01J19/08 C
, B29C71/04
, H05H1/24
Fターム (32件):
2G084AA07
, 2G084AA16
, 2G084AA27
, 2G084BB23
, 2G084CC03
, 2G084CC19
, 2G084CC22
, 2G084CC34
, 2G084DD12
, 2G084DD21
, 2G084FF23
, 4F073AA06
, 4F073AA10
, 4F073AA32
, 4F073BA33
, 4F073CA27
, 4F073HA11
, 4F073HA12
, 4G075AA30
, 4G075AA37
, 4G075BA05
, 4G075BB10
, 4G075CA15
, 4G075CA18
, 4G075DA02
, 4G075EB41
, 4G075EC21
, 4G075EC25
, 4G075ED13
, 4G075FB02
, 4G075FB12
, 4G075FC15
引用特許:
引用文献:
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