特許
J-GLOBAL ID：201903006787150625
マイクロ波プラズマ源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
棚井 澄雄
, 橋本 宏之
, 山口 洋
, 沖田 壮男
, 荒 則彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-225696
公開番号（公開出願番号）：特開2019-096504
出願日： 2017年11月24日
公開日（公表日）： 2019年06月20日
要約：
【課題】高密度のプラズマを形成し、マイクロ波の漏洩が抑制されたマイクロ波プラズマ源を提供する。【解決手段】マイクロ波プラズマ源において、筒状磁石部は、第1開口端と第2開口端とを有する。第1開口端は、第1極性を有し、第2開口端は、第2極性を有する。筒状体は、筒状磁石部に囲まれる。第1磁気回路部は、第1開口端を閉塞する。第2磁気回路部は、第1磁気回路部に対向配置される。第2磁気回路部は、第1開口部を有する。アンテナは、第1磁気回路部を貫通し、空間に導入され、空間にマイクロ波電力を供給する。ノズル部は、第1開口部よりも開口面積が小さく第1開口部に連通する第2開口部を有する。筒状体の内径をa(mm)、空間に供給されるマイクロ波電力のマイクロ波遮断波長をλ(mm)としたときに、マイクロ波プラズマ源は、λ>3.41×(a/2)の関係式を満たすように構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1開口端と、前記第1開口端とは反対側に位置する第2開口端とを有し、前記第1開口端が第1極性を有し、前記第2開口端が前記第1極性とは反対の第2極性を有する筒状磁石部と、
前記筒状磁石部に囲まれた筒状体と、
前記第1開口端に接し、前記第1開口端を閉塞する第1磁気回路部と、
前記第2開口端に接し、前記第1磁気回路部に対向配置され、前記筒状体によって囲まれた空間を開口する第1開口部を有する第2磁気回路部と、
前記第1磁気回路部を貫通し、前記空間に導入され、前記空間にマイクロ波電力を供給することが可能なアンテナと、
前記第1磁気回路部とは反対側において前記第2磁気回路部に接し、前記第1開口部よりも開口面積が小さく前記第1開口部に連通する第2開口部を有するノズル部と、
前記筒状磁石部及び前記筒状体を貫通し、前記空間に放電ガスを供給することが可能なガスポート部と、
前記アンテナと前記第1磁気回路部との間に設けられた絶縁部材と
を具備し、
前記筒状体の内径をa(mm)、前記空間に供給される前記マイクロ波電力のマイクロ波遮断波長をλ(mm)としたときに、λ>3.41×(a/2)の関係式を満たすように構成された
マイクロ波プラズマ源。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (20件)：
2G084AA12
, 2G084BB02
, 2G084BB25
, 2G084BB27
, 2G084BB29
, 2G084BB34
, 2G084CC15
, 2G084CC33
, 2G084DD04
, 2G084DD12
, 2G084DD14
, 2G084DD39
, 2G084DD66
, 2G084FF02
, 2G084FF04
, 2G084FF14
, 2G084FF26
, 2G084FF27
, 2G084FF28
, 2G084FF40
