特許

J-GLOBAL ID：201903015754838094

ファセットミラー

発明者： ビーリング スティグ ,  デギュンター マルクス ,  ヴァングラー ヨハネス
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (7件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  近藤 直樹 ,  大浦 博司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-513078
特許番号：特許第6504506号
出願日： 2013年05月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 投影露光装置(1)の照明光学ユニット(4)のための瞳ファセットミラー(14)であって、 特定の限界周波数よりも高い空間周波数を減衰させるための手段がそれぞれ設けられた多数の瞳ファセット(14a)、 を含み、 前記瞳ファセット(14a)には、走査交差方向のみにターゲットを定めたデフォーカスが与えられる、及び、前記瞳ファセット(14a)には、空間周波数を減衰させるための散乱機能が与えられる ことを特徴とする瞳ファセットミラー(14)。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G02B 5/02 ( 200 6.01) ,  G02B 5/08 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/20 503 ,  G02B 5/02 C ,  G02B 5/08

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 特許第4518078号
  
• 特許第4518078号
  
• スペクトル純度フィルタを形成する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2011-510929   出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
• 極紫外線リソグラフィーシステム内で所定の帯域の放射線を取り除く格子ベースのスペクトルフィルター
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-531839   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
• EUV光を用いた露光装置および露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-116805   出願人：キヤノン株式会社
• ビームホモジェナイザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-292936   出願人：ディジタル・オプティックス・コーポレイション
• ミラー及びミラーを備えたリソグラフィック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-201979   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 極端紫外光を用いる半導体露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-226548   出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社